回火爐熱處理會產生回火變形的主要原因為回火淬火之際產生的殘留硬力或組織變化導致，亦即因回火使張應力消除而收縮、壓應力的消除而膨脹，包括回火初期析出e碳化物會有若干收縮、雪明碳鐵凝聚過程會大量收縮、殘留沃斯田鐵變態成麻田散鐵會膨脹、殘留沃斯田鐵變態成變韌鐵會膨脹等，導致回火后工件的變形。防止的方法包括：（1）實施加壓回火熱處理；（2）利用熱浴或空氣淬火等減少殘留應力；（3）用機械加工方式矯正及（4）預留變形量等方式。